二手 KLA / ICOS CI 8250 #9113513 待售

KLA/ICOS CI 8250是為半導體制造商設計的自動化、基於圖像的掩模和晶圓檢測設備。它為用戶提供了一個全面的解決方案，以確保晶圓和掩模質量。該系統采用基於激光幹涉儀的共焦成像技術，並采用魯棒性算法，產生亞微米分辨率的圖樣缺陷。該單元包括許多組件，以幫助晶圓和掩模檢查更加準確和高效。它采用了最先進的模式識別軟件、用於精確對準和聚焦定位的三維機動物鏡、用於測量反射光反射率的激光幹涉儀以及用於捕捉圖像數據的高分辨率CCD相機。KLA CI 8250針對高性能和持續吞吐量進行了優化。它能夠生成速度和精度都很高的二維圖像。可以調整圖像的旋轉和放大倍率，以匹配所關註的晶圓特征和區分缺陷。機器可以識別兩種類型的缺陷-開路缺陷、模式斷裂、閉路缺陷或模式元素之間的重叠。ICOS CI-8250提供了多種圖像處理工具,如對比度增強、銳化和邊緣檢測,以提高所獲取圖像的質量。然後,可以使用增強的圖像更精確地識別和分析缺陷。通過使用假色映射、水平輪廓繪圖、直方圖分析等多種分析技術，工具可以準確測量和報告缺陷特征。總體而言，KLA CI-8250是檢測和分析晶片層和掩模層缺陷的極好的自動化檢查資產。其先進的圖像增強功能和分析技術為後處理數據和生產信息提供了高效的解決方案,可用於減少產品停機時間和提高生產質量。