二手 KLA / ICOS CI 8250 #9156475 待售

KLA/ICOS CI 8250是為大批量半導體生產而開發的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用非接觸式光學成像技術,放大倍數從5倍到800倍不等。這使得設備能夠檢測到尺寸低至25納米的缺陷。該機器還具有獲得專利的雙光激光照明（DLI）功能,能夠檢測上下文缺陷,包括圖樣或故障。該工具還包括多種軟件功能。它有軟件，可以自動識別蒙版或晶片上的特征，識別典型的缺陷，然後相應地拒絕或接受晶片。此資產可以準確檢測一系列模式和特征,包括串聯、隔離或隨機分布的模式和特征。它還具有多視圖缺陷審查和缺陷計數功能。KLA CI 8250更進一步的功能包括全自動晶圓對準模型，以及自動對焦、曝光和蒙版傾斜功能。這樣可以確保功能能夠有效對齊,並且成像設備在檢查時保持對晶片或掩模的完美聚焦。ICOS CI-8250中包含的軟件包括可實時檢測和分析缺陷的在線成像分析（OIA）系統,以及用於快速、準確自動缺陷分類的直接缺陷識別（DDR）單元。CI-8250是為最苛刻的半導體生產環境設計的高性能檢測機。它能夠快速準確地檢測小缺陷，既可用於生產線，也可用於研究實驗室。其廣泛的放大倍率、DLI功能和軟件功能使其成為最先進的晶圓和掩模檢測系統之一。