二手 KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9016183 待售

KLA CI 9450 Rev.5是一種面罩和晶片檢測設備，設計用於檢測多晶材料對準和控制中的表面缺陷和缺陷。適用於半導體表面過程檢測，可檢測小至5 nm至大不規則缺陷的孤立非周期性缺陷。CI 9450采用精密的高分辨率光學系統,具有四Pixel™技術專利,具有卓越的信噪比性能。這有助於提供更好的信號與後臺對比度,並增強高分辨率缺陷檢測能力。設備配備的目標範圍從長工作距離（LWD）到高數值孔徑（NA）。這使得即使是最具挑戰性的工藝條件也能進行高質量檢查。該計算機由基於Windows的軟件套件提供支持,用於數據的操作和管理。其中包括直觀的用戶界面、強大的圖像分析算法和自動化功能。通過各種基本和高級功能,包括缺陷檢測、分類、審閱、報告和排序,可以方便地進行圖像分析。一套完整的晶圓獨立統計過程控制（SPC）工具可用於高效的數據分析和故障安全操作。CI 9450還具有一個精密的五軸級機器人一通檢測，能夠高速運行，減小振動。智能產量映射技術通過自動優化視場和覆蓋率來確保最高正常運行時間。該工具還提供雙軸級運動控制和交叉軸漂移補償,以提高精度。總體而言，ICOS CI 9450 Rev.5是一種高性能的掩模和晶圓檢測資產，能夠檢測到極小的缺陷。它提供先進的光學和圖像處理功能、功能強大的基於Windows的軟件套件,以及用於機器人單通道檢查的五軸舞臺。這些功能結合在一起,使CI 9450成為研究和生產應用的理想解決方案。