二手 KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9104387 待售

KLA CI 9450 Rev. 5是一種面罩和晶片檢測設備，設計用於提供可靠、準確、快速的結果。該系統結合了兩種可互換的檢查技術--復習光掩模和復習晶片.該單元以自動化、計算機驅動的掃描、圖像分析、缺陷檢測和機器相關決策模塊為基礎，使其在掩碼和晶圓審查方面非常高效、準確。該機器結合了暗場光學和明場光學，以快速高效地捕捉微觀圖像。對光掩模的審查是在不同的層間進行的，結合了脊柱摩擦和暗場圖像進行自動化。通過光散射分析和圖樣缺陷檢測，可以實現高畫質。用於晶片檢查的CI 9450 Rev.5工具提供自動晶片審查和手動審查。自動晶片檢視資產是一種基於視覺的機器，它將晶片定位在檢測臺上，從晶片的頂面捕獲一系列圖像，並自動檢視邊緣缺陷、氧化物缺陷和其他晶片條件。手動審查模式將包括分別掃描每個晶片，將特征與可接受的標準進行比較，並查明任何差異。該設備還具有直觀的圖形用戶界面（GUI），便於學習和使用。GUI提供有關系統上各種功能（如掃描速度、光學和成像模式）的詳細信息。此外,GUI還允許自動決策,方法是評估捕獲的圖像是否存在缺陷,並及時決定掩模或晶片是否可接受。該單位還包括一個數據采集單位，用於存儲結果並提供詳細的檢查報告。總體而言，ICOS CI 9450 Rev.5是一種可靠、高效的掩模和晶片檢測機，能夠提供快速、準確和可靠的結果。它允許使用易於使用的圖形用戶界面自動審查光掩碼和手動審查晶圓。該工具還包括一個詳細結果和報告的數據采集單元。