二手 KLA / ICOS CI 9450 #9156476 待售

KLA/ICOS CI 9450是專門設計用於半導體光刻的光掩模和晶片的高精度成像和分析的掩模和晶片檢測設備。該系統使用先進的光學技術作為其成像和分析策略的一部分，包括激光照明、先進的光學和計算機控制的舞臺機構。該裝置采用4百萬像素相機，具有高分辨率成像能力，可精確觀察光掩模和晶片上的細線特征。它采用六象限環形照明機，在整個視野中提供精確、均勻的照明。光源和準直儀便於選擇和控制散射照明和激光照明角度和強度。91百萬像素探測器陣列提供明暗場模式的高分辨率成像。這樣可以精確測量關鍵的電氣特性尺寸。高分辨率單色ccd相機也用於檢查晶圓上的地址圖樣。探測器陣列還允許以各種照明角度和比例捕捉圖樣的圖像。該工具還包含了許多高級算法，以提供對掩碼或晶圓圖像的詳細分析。這包括光學字符識別、低對比度增強、低曝光檢查和圖像銳化。該資產還具有許多用於分析圖像的自動化過程。這些包括自動晶片分類、自動缺陷識別、自動故障芯片檢測和自動聚焦掃描。模型還可以生成缺陷檢測報告。除成像和分析外，該設備還可用於預生產口罩驗證和工藝控制。它還允許晶片與掩模進行比較，以最大限度地提高效率和準確度。總之，KLA CI 9450系統是一種精密、精密的掩模和晶片檢測儀器。利用先進的光學技術和算法，提供高分辨率成像和半導體光刻模式的詳細分析。此外,它還集成了各種自動化流程,以進行高速和準確的數據分析。