二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159845 待售
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KLA/ICOS CI 9450是晶圓和掩模檢查的自動化光學檢查設備。它配備了先進的光學、電子和軟件控制平臺，讓用戶能夠精確測量到亞微米級別的特性。KLA CI 9450設計用於執行廣泛的自動光學檢查任務,例如檢測幾何缺陷、晶圓表面缺陷、過度蝕刻特征和測量線寬。它既可用於制造環境，也可用於晶圓測試環境。該系統由幾個組件組成，包括一個目標炮塔、放大鏡、光源、相機和圖像處理軟件。目標炮塔的放大範圍為10倍至250倍，可支撐超過11個目標。它以每秒2.5轉的最高速度運行，而且非常精確，可以精確測量和分析最小的特征。光源裝有LED，可提供400納米（nm）至900 nm的波長範圍，使用戶能夠檢測到各種缺陷，包括金屬汙染物、光致抗蝕劑碎屑、顆粒以及其他晶圓和掩模表面缺陷。這些相機利用4百萬像素的CMOS（互補金屬氧化物半導體）成像裝置，以5.4米μ像素大小拍攝圖像，最大分辨率為3,000 dpi（點數/英寸）。另外，使用多個攝像頭，每個FOV（視場）為3mm，機器能夠在一次拍攝中查看整個晶片。然後通過專有的成像和重建軟件處理所檢查的圖像。此軟件允許工具檢測任何缺陷並對其進行量化以進行進一步分析。它為用戶提供各種視覺輔助，如縮放、輪廓線或成像，以及其他參數如對比度、亮度、超分辨率、極性、方向等設置。綜上所述，ICOS CI-9450是一種自動化、高精度、高速的檢測資產。它旨在提供精確的測量和出色的圖像質量。其強大的光學、成像和軟件支持提供了一個健壯可靠的檢測平臺，適用於制造和檢測目的。
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