二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159855 待售
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KLA/ICOS CI 9450是用於半導體、顯示器和微機電系統（MEMS）行業的最先進的掩模和晶圓檢測設備。它提供高分辨率成像功能、自動化缺陷檢測、測試站點和分類庫之間的比較以及計量功能。這個單元提供了廣泛的檢查，包括光掩模、SEM（掃描電子顯微鏡）、散射測量、臨界尺寸和叠加測量。它的電動分選器以快速、可復制的方式將面膜和晶片移入顯微鏡進行成像和檢查。其高分辨率提供了對這些基板上各種特征和缺陷的詳細成像。KLA CI 9450配備了自動化缺陷檢測和分類算法，能夠快速識別視覺和非視覺缺陷。這臺機器還提供了預制測試站點和圖書館站點之間的比較和關聯，允許復雜的缺陷檢測和分類。它還可以識別肉眼看不到的特征級缺陷,否則無法檢測到這些缺陷。ICOS CI-9450還具有計量功能,可快速準確地測量掩碼和晶片上的各種特征,如線寬、線長和角度測量。其自動對焦控制機構還能實現快速、準確、可重復的測量。CI-9450先進的成像、自動化缺陷檢測、比較和計量功能使其成為檢測和分類各類基板上最困難缺陷的有力工具。這些特性加上出色的成像分辨率和自動分選器，使其成為高端掩模和晶圓檢查的理想工具。
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