二手 KLA / ICOS CI 9450 #9159881 待售

KLA/ICOS CI 9450掩模和晶片檢測設備是用於半導體器件制造的掩模和晶片質量檢測的通用、準確的系統。它是一種對半導體晶片小特征和缺陷成像進行優化的高通量晶片檢測儀。它只用於檢查清潔晶片，不適合檢查濕晶片。該機器能夠檢測直徑大於1微米的小特征或缺陷。KLA CI 9450由多功能成像工具組成，包括高分辨率數碼相機和先進光學器件。照明設備包括一個大功率LED照明陣列和一個用於光學成像的分束器,而掃描級能夠在x、y和z軸上移動掩模或晶片。圖像是通過多級視覺過程實現的,在此過程中,可以高速拍攝低分辨率圖像以確定總體狀態。但是,如果檢測到缺陷,則可以進行更詳細的成像。這是通過移動到晶片上的不同點並分別針對缺陷來實現的。ICOS CI-9450可以檢查模具缺陷、暗色或淺色顆粒、弧形、氣泡和針孔等缺陷。掩模和晶片檢查模型還能夠將缺陷位置記錄為缺陷圖的一部分,並提供Good、Average或BG等自動晶片分類。設備的硬件和軟件的多功能性使其適合各種應用，包括晶片級、單元級和設備級對包括液晶顯示器、光刻面膜和晶片、射頻板、裝配和封裝IC和CMOS在內的各種晶片類型的檢查。先進的光學和照明系統確保圖像質量足以進行可靠的檢查。KLA/ICOS CI-9450能夠在自動模式和手動掃描模式下運行,操作員可以選擇掃描區域並選擇要檢查的模具數量。系統的內置缺陷分析能力有助於對缺陷進行自動檢測，並對缺陷信息進行記錄，以便進一步深入研究。該單元配備了先進的管理員和數據管理軟件，用於設置和操作掩模和晶片檢測機。此軟件使生成有關檢查過程的報告變得更加容易,並且還可以解釋數據,以便在發現缺陷時采取適當的糾正措施。總體而言，CI-9450面膜和晶片檢驗工具是一種堅固、可靠、易於使用的資產，用於檢驗面膜和晶片的質量。它效率高，具有檢測其他檢查系統可能無法檢測到的小缺陷的能力。