二手 KLA / ICOS CI 9450 #9173937 待售

KLA/ICOS CI 9450是一種掩模和晶圓檢測設備,旨在提供高通量屈服性能。它是KLA CX 9350的後繼產品,融合了高級自動化和可定制的硬件和軟件功能。該系統同時使用亮場、暗場和紫外線成像，以及獲得專利的增強叠加技術，以確保精確的缺陷檢測和分類。該單元配備了2500萬像素的亮場數碼相機和800萬像素的低光級數碼相機，每臺都配有一臺兩英寸電子透鏡機。大視野和高分辨率提供了優越的性能在廣泛的晶圓大小和類型。此外，該工具還配備了紫外線二元相差成像能力，以改進透明材料成像。KLA CI 9450中提供的最先進的CCD提供了卓越的光學靈敏度,具有3D光刻膠步進等增強的工件。此外，該資產的專利增強覆蓋技術被納入到檢測和分類潛在的覆蓋相關缺陷。在檢測速度方面，該型號的最大加速度為6G，使每小時晶圓的檢測達到>640次。設備還支持並行特性，允許多個模式或目標與連續晶片並行對齊。此外,ICOS CI-9450還包括高級自動化功能,如自動模塊彈出和多個模式加載/卸載功能,以最大限度地提高吞吐量。CI-9450使用各種用戶友好的措施為用戶提供改進的自動化工作流控制。這包括管理每個目標最多10個集成目標的能力,將報告與詳細的數據視圖相結合,以及方便的輪班作業設置工具。總體而言,KLA/ICOS CI-9450是一個高級、高度精確的掩碼和晶圓檢查系統,具有先進的自動化工作流控制、高速檢查功能和卓越的成像分辨率。它非常適合那些在半導體行業中尋求提高產量性能和提高吞吐量的人。