二手 KLA / ICOS CI 9450 #9186860 待售

KLA/ICOS CI 9450是KLA-Tencor Corporation提供的最先進的面罩和晶圓檢測設備。它旨在識別和分析高級工藝節點半導體晶圓、標線和掩碼中的潛在缺陷。KLA CI 9450具有自動晶圓對準系統,可提供精確的叠加對準,以及用於測量關鍵尺寸和地形的高級檢查工具。該設備的光學機器提供了明場和暗場功能,並具有高放大倍率（最大500倍）,能夠進行高度詳細的檢查。此外,ICOS CI-9450還具有自動晶片級、動態聚焦機構以及彩色、偏振和多頻映射等高級成像技術等多種高級功能。這些功能可以精確分析缺陷類型,如橋接、排空、掩碼錯誤等。在軟件方面,CI 9450具有直觀的用戶界面,內置缺陷分類和缺陷管理工具,以及圖像分析和報告功能。詳細的檢查結果可以輕松導出,以用於下遊審查和審查工具（如ICOS/LabExpert）,從而可以快速輕松地審查檢查結果。KLA CI-9450可配置用於多種工藝應用,包括光刻、OPC、衍射測量等。該工具還與KLA/ICOS/Advanced Process and Review Tool（一種集成的檢查和審查軟件）的高級層流程控制功能兼容。此軟件為客戶提供了控制和管理流程參數的最新技術。ICOS CI 9450是一種可靠的掩模和晶圓檢驗資產，旨在滿足半導體行業的需求。其高度模塊化的設計支持針對特定應用程序的定制,其高級成像和自動性能功能提供了出色的吞吐量。結合KLA-Tencor廣泛的工具和軟件,CI-9450是處理過程控制和缺陷檢測的理想解決方案。