二手 KLA / ICOS CI 9450 #9208707 待售
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KLA/ICOS CI 9450是一種內聯掩模和晶圓檢測系統,用於監控制造過程的質量。該系統對從掩模到晶圓的制造過程的每個階段進行自動、徹底的檢查。KLA CI 9450由面罩檢驗、工藝檢驗、模具檢驗、晶片檢驗四個階段組成。「掩模檢查」階段使用邊緣檢測算法來評估掩模特征幾何的精度,如線寬、形狀和對比度。此算法還確保正確對齊和放置蒙版的所有組件。「工藝檢查」階段評估生成掩模的光刻工藝的質量,如圖樣的曝光水平、深度和線性。此階段還檢查與所需特征幾何的偏差。模具檢查階段檢查用於創建芯片設計的晶體管、互連和其他組件的存在和精度。此相位還監視晶片的表面質量,這會影響芯片產品的可靠性。最後,晶片檢驗階段在器件形成後尋找晶片表面的缺陷和汙染物。這樣,在將任何有缺陷的模具包括在最終產品中之前,都可以先識別和移除它們。ICOS CI-9450是一個高度可靠和精確的掩模和晶圓檢測系統.通過其自動化的四階段掃描過程,它能夠檢測制造過程的每個階段的缺陷和汙染,從而幫助確保最終產品的最高質量。它可以快速高效地運行,最大限度地減少執行必要質量檢查所需的時間和金錢。
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