二手 KLA / ICOS CI 9450 #9244496 待售

KLA/ICOS CI 9450掩模和晶片檢測設備是一種高性能的光學表面CCD掩模和晶片檢測系統,旨在對先進的光掩模和晶片表面進行缺陷檢測。該裝置確保最大限度地實現檢查分辨率和生產率。該機基於先進的光學成像工具，由兩臺高分辨率單色CCD攝像機組成，一臺直線放大倍率，另一臺透視成像。兩臺攝像機提供了最佳的寬視場，並配備了可編程檢測場、軸上和離軸照明以及移相、識別、調色等先進成像技術。攝像機鏈接到圖像處理器/查看站,該站允許圖像處理。處理器配備了多種軟件程序,允許用戶查找、識別和評估缺陷。它還允許用戶檢查掩模或晶片的各個區域並獲取感興趣的圖像。此外，軟件可以計算缺陷的密度，並將其存儲在板載數據庫中，以供將來分析。該資產設計為高效運行，可達到高達每小時100晶圓的檢測速度，精度高達0.1µm。它配備了用於遠程訪問的安全以太網,以便用戶可以從世界任何地方控制它。該模型具有多種用戶友好的功能,如直觀的用戶界面、與FOUP和LOT的完全集成、快速提交和檢索作業、錯誤記錄和實時故障隔離。此外，該設備與最新的光刻和計量系統完全兼容，並與各種光掩模和晶圓格式兼容。它符合行業標準,並提供可選的內置圖像分類、檢查報告生成和深入分析。總體而言,KLA CI 9450掩模和晶片檢測系統是一個完整而全面的單元,它為用戶提供高分辨率的成像功能以及先進的軟件程序,以便能夠對光掩模和晶片表面進行尖端缺陷檢測。