二手 KLA / ICOS CI 9450 #9363159 待售

KLA/ICOS CI 9450面膜和晶圓檢驗設備的設計符合最先進的圖樣介質檢驗的嚴格質量要求。它提供高分辨率的生產級成像、自動化的實時系統修復和廣泛的檢查功能,以提供最大的模式保真度、缺陷檢測和屈服保證。該單元配備了高分辨率的600萬像素全畫幅攝像頭，允許分辨率大於1 µm，測量精度優於1 µm。它還能夠以線性和多視圖模式捕獲圖像數據。現場可更換的動態冷場發射源為檢測缺陷提供了最佳照明，而機器的自適應照明技術確保了對比度優化效果。該工具的高級缺陷檢測功能包括缺陷的自動分類和分類、缺陷的輔助分類、假陽性緩解和過程控制。它可以回顧各種缺陷，從大於0.8 µm的缺陷到小於500 nm的超微小缺陷。KLA CI 9450還配備了高效的全球協調對齊工具和自動化資產維修能力，以減少潛在浪費的檢查時間，提高產量。該模型包括一個全面的儀表板UI,用於查看、分析和管理檢查結果。還提供了所有檢查的完全可追蹤性，從而能夠快速評估光刻工藝的變化和核查檢查條件和結果。此外,設備還集成了強大的報告界面,以實現更高效的可制造性設計分析。ICOS CI-9450提供高速遠程訪問,系統的校準測量選項驗證了缺陷測量的準確性和可靠性。該單元還提供多種軟件功能，包括自動對焦、晶圓平整自動檢測和電平內存功能。CORE Machine軟件平臺提供了深入直觀的用戶體驗，使得該工具成為了模式媒體檢查的理想選擇。