二手 KLA / ICOS CI 9450 #9396597 待售

KLA/ICOS CI 9450是為半導體制造而設計的先進、自動化的掩模和晶圓檢測設備。它提供高速圖像采集、自動缺陷審查和掩碼計量等功能。該系統利用前沿光學技術對光刻圖樣進行精確測量和高分辨率圖像，為檢測晶片掩模和成品晶片上的缺陷和不符合要求提供了可靠的方法。該單元由兩個組件組成-晶圓檢查組（WIF）和KLA相關圖像采集和審查機（CIARS）。WIF負責獲取和處理被檢查的掩模或晶片的高分辨率圖像。WIF可以以每晶圓60秒的速度獲取圖像,從而實現快速高效的檢查。它配備了多種鏡頭，可以捕捉不同的視野。支持多種圖像格式,以便於圖像之間進行比較。CIARS組件處理掩碼或晶片的審閱,使用專有缺陷檢測算法突出顯示缺陷和不符合要求。該工具使用子像素邊緣檢測結合基於規則的模式識別來檢測缺陷並進行分類。可以為各種範圍和應用程序配置CIARS資產,從而實現配置的靈活性。此外,它還支持多種語言以擴大用戶群。KLA CI 9450提供了廣泛的功能和優勢。它提供高分辨率成像功能和快速的圖像采集速度。它還具有自動缺陷審查和掩碼計量學功能,可以高效、精確地發現缺陷。此外,它還提供了廣泛的可自定義配置,使其適合各種應用程序和用戶。該模型易於使用和維護,確保了可靠的性能並最大程度地減少了停機時間。