二手 KLA / ICOS CI-T120 #293662323 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種掩模和晶圓檢測設備。它被半導體工業用來檢查光掩模和wAFERS是否有缺陷、劃痕、汙染和其他光學不規則性。KLA CI T120是一個高端檢測系統，結合先進的光學、軟件和相機技術，提供業界領先的檢測和糾正缺陷的精度和準確性。ICOS CI T-120的核心是一臺高分辨率的二維相機,能夠捕獲分辨率小至10微米或更小的圖像,用於光掩碼和晶圓檢查。設備配置了一組檢查鏡頭,具體取決於應用程序。這些透鏡包括消色差、多場、特殊用途和用於檢查光掩模和wAFERS的可拆卸透鏡。CI T-120還集成了用於缺陷檢測和糾正的各種軟件。這包括用於減少模式失真、增強模式識別以及檢測汙染物和劃痕的軟件。KLA CI-T120經過優化,可用於自動檢查站。它具有機械臂接口功能，使檢測機能夠連接到不同的機械臂，以實現面罩和晶圓檢測儀的自動化。此外,它還具有多區域成像和縫合功能,可對齊不同區域的圖像,或自動綁定掩碼和晶片。在用戶界面方面,ICOS CI-T120提供了一個全面的GUI工具,用於控制和監視檢查過程。GUI允許設定測量參數，監控檢查結果，觀察檢查任務的整體完整性。還包括一個功能強大的管理資產,它使用戶能夠配置和監視檢查模型的性能,以及生成有關檢查結果的報告。總之，KLA/ICOS CI T-120是半導體工業進行掩模和晶圓檢測的有力工具。它旨在通過其先進的光學和軟件功能提供最先進的性能。CI-T120提供了檢測和糾正光掩碼和wAFERS缺陷的高端精度和精確度。它與機械臂的集成確保了檢查過程的高效自動化,而其全面的GUI和管理設備使用戶能夠有效地控制和監控整個過程。