二手 KLA / ICOS CI-T120 #293792882 待售
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KLA/ICOS CI-T120是為晶圓廠環境設計的高性能掩模和晶圓檢測設備。KLA CI T120采用先進的光學、激光和成像技術,采用數據驅動的智能技術,可精確檢測屏蔽和晶片上的缺陷。其先進的照明激光幹涉測量系統(LIS)能夠實現無損、高分辨率的表面地形成像(TES),用於準確的缺陷檢測和分類。ICOS CI T-120具有增強的濾鏡和透鏡陣列,可對8,400毫米方形(mm2)以上的區域逐行或矩陣區域進行超高速照明。KLA CI-T120還包含一個強大的圖像處理引擎,用於全面的圖像分析。它內置的數據驅動人工智能算法庫可以檢測微缺陷,並將其分為不同的大小、強度和拓撲群。此外,CI T-120還配備了高靈敏度檢測模式識別(IPR)算法,用於檢測各類橋梁缺陷和半橋梁缺陷。IPR算法通過識別和隔離斷橋或缺失、偏轉和網格故障等缺陷特征,能夠識別和測量甚至最小的缺陷-低至50納米(nm)。ICOS CI T120旨在簡化掩模和晶圓檢測過程。交鑰匙裝置使設置和校準變得快速和容易,而其自動化軟件使數據的快速收集和成像成為可能。它還能夠以高達每小時3.3晶片的速度對大型晶片進行全晶片檢查。此外,其內部監控系統通過提供實時性能反饋和診斷幫助減少設備停機時間。CI-T120符合或超過美國和國際可靠缺陷檢測標準以及低顆粒風險要求。此外,這臺機器有助於減少對昂貴的後處理步驟的需求,因為其卓越的缺陷檢測有助於確保最優質的晶片和掩模滿足制造要求。此外,該工具還提供全面的統計和質量過程控制數據,以便於分析和報告。CI T120是需要可靠且經濟高效的檢測解決方案的半導體和光掩模制造操作的絕佳選擇。KLA CI T-120結合了先進的光學、成像和人工智能技術,是實現卓越質量控制的理想解決方案。
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