二手 KLA / ICOS CI-T120 #293826047 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種先進的掩模和晶圓檢測系統，旨在滿足尖端半導體制造工藝步驟的精密計量和材料分析需求。它具有專有的高級光學檢查和自動對準系統,以確保最高的計量質量和性能,並符合最具挑戰性的要求。該系統能夠檢查到60 nm技術節點的光掩碼。KLA CI T120配備了KLA專利光譜光場成像,提高了靈敏度.這樣可以提高采集速度、提高檢查精度和提高視野（FOV）。亮場成像允許在不同的光源下進行對比度變化：反射亮場（MRBS）、暗場照明（MDBS）和紫外線照明（MUV）。ICOS CI T-120還具有ICOS高級光學圖樣識別功能,具有線寬測量（LWM）、接觸孔測量（CHM）和MEEF提取（MEEF）等功能。除了高畫質外,CI T-120還具有自動對準和對焦功能。這些功能確保了圖像與掩模或晶片的一致和準確對齊,以及對特征的快速和精確測量。自動對準算法用於最佳定位精度,而快速聚焦檢測則允許快速、精確的精細聚焦調整。KLA CI-T120具有全面的數據分析功能,能夠進行詳細的缺陷分析。它具有實時缺陷監控和擴展靜態檢查以滿足各種設備結構的功能。它還具有高速分析引擎和先進的缺陷分類，為快速吞吐量和一致的結果。CI T120旨在最大限度地降低總擁有成本。它由超精密零件打造而成，結構堅固，確保運行穩定。它需要最低限度的操作員培訓,耗材成本低,並且專為高吞吐量和生產率而設計。ICOS CI T120是一種先進的檢測系統,以極具吸引力的價格提供卓越的準確性和可靠性。對於那些在最具挑戰性的半導體制造過程中需要精確計量和材料分析的人來說，它是理想的解決方案。