二手 KLA / ICOS CI-T120 #9190203 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種高速、雙光束、光學檢測設備，用於檢測半導體晶片和掩模。它是在集成電路制造的前端和後端過程中識別半導體晶片缺陷的經濟高效的解決方案。KLA CI T120能夠檢測非常小的缺陷，如晶片和掩模上的顆粒缺陷、劃痕、空隙和不符合。系統使用兩個同步掃描顯微鏡，通過結合亮場照明、透射光成像和暗場亮場成像來檢查晶圓和掩碼。光場照明很容易檢測到粒子缺陷，而透射光成像技術識別出包括空隙在內的亞微米缺陷。暗場亮場成像可產生高對比度和高分辨率的圖像,從而獲得最佳的缺陷表征.ICOS CI T-120包括具有可編程缺陷檢測閾值的高級自動信號處理功能。這使設備能夠自動檢測缺陷並最小化錯誤警報。ICOS CI T120的最大字段大小為3英寸（7.62厘米）,可提供高達130萬像素/秒的數據采集速率。它還具有8位和12位像素位深度，使機器能夠精確捕獲和分析甚至最小的缺陷。它與各種介質兼容,包括CD、DVD、磁帶和硬盤。該工具配備了簡單直觀的用戶友好圖形界面，幫助操作員快速高效地檢查晶圓和掩模。該資產可以與現有的半導體制造模型集成，從而便於實施和集成。它還包括一系列軟件選項,以確保可以對其進行自定義和配置以滿足每個客戶的特定要求。總體而言，KLA CI-T120是一種強大的檢測設備，旨在為半導體晶片和掩模提供高精度、經濟高效的缺陷評估和分析。其雙光束光學器件、可編程缺陷檢測能力、高采集率確保即使是最小的缺陷也能準確識別。其用戶友好的界面、與各種介質的兼容性以及集成能力使其成為半導體制造商的理想選擇。