二手 KLA / ICOS CI-T120 #9221136 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種用於檢測各層標線和晶片材料缺陷的掩模和晶片檢測設備。該系統具有超高分辨率，確保對材料進行清晰準確的檢查。它提供了3D地形、反射、傳輸和熒光圖像在標線和晶片上的增強可視化。該單元包括一套高級圖像處理工具,用於區分常規模式或特征中的潛在缺陷。它使用各種照明系統和顯微鏡，包括激光光束刻錄器和光學顯微鏡，以精確的空間分辨率捕捉大量圖像，並記錄它們的強度。這樣就能夠準確地比較和分析不同的圖像（例如不同放大倍數的圖片）。KLA CI T120還具有集成的自動化缺陷檢查和審核功能,允許用戶輕松檢查和測量給定晶片上的多個缺陷。機器能夠識別最常見的缺陷類型，包括顆粒、線條、水泡等。它還可以檢測到表面形態和層的微小變化。ICOS CI T-120可以以高達每小時200晶圓的速度運行,大大縮短了與工藝窗口進行比較的檢查時間。此外，CI-T120還配備了一整套報告和數據分析工具。用戶可配置的報告使用戶能夠快速識別問題區域並提高其流程質量。該工具提供各種參數的實時控制和顯示，以更好地觀察過程偏差。因此,KLA CI T-120是晶圓和掩模制造的寶貴工具,使制造商能夠快速檢測和解決生產過程中的缺陷。它有助於降低未經檢查或重新加工的掩模和晶片的成本,並有助於減少生產損失的時間。此外,資產的高吞吐量、分辨率和自動缺陷檢測功能使其成為當今最好的自動掩碼和晶圓檢測系統之一。