二手 KLA / ICOS CI-T120 #9237030 待售

KLA/ICOS CI-T120是為晶圓和掩模制造行業設計的精密檢測設備。它利用先進的激光成像技術、光譜成像和算法分析相結合，檢測半導體材料表面的微觀微粒和其他汙染物。檢測系統包括一個高分辨率激光成像（HRLI）單元，它允許對晶片和掩模上的表面缺陷進行實時成像。它使操作員能夠可視化任何尺寸達25納米的汙染物，並對設置進行精確調整以確保可重復結果。KLA CI T120還包括一臺先進的光譜成像（SI）機器，它與HRLI配合工作，檢測不同缺陷的表面反射率的微小差異。SI工具可用於識別HRLI無法檢測到的缺陷曲面不一致之處。檢驗資產配備了最新的算法分析算法。這樣就可以進行自動檢查,從而能夠檢測到最小的缺陷。它象征性地聚集了缺陷和非缺陷，然後應用各種統計模型來識別汙染。這使模型能夠準確地檢測和識別極小的差異,否則這些差異可能不會被檢測到。ICOS CI T-120也是模塊化和可擴展的。它的框架旨在使高級應用程序能夠升級和集成額外的檢查模塊。此外,設備還提供實時控制和離線分析功能。總體而言，KLA/ICOS CI T-120是一個可靠、高效的晶圓和掩模檢測系統。它結合了HRLI、SI和算法分析，使其能夠以前所未有的精度檢測表面缺陷。此外,它的模塊化設計允許各種應用程序,並集成用於特殊任務的其他模塊。