二手 KLA / ICOS CI-T120 #9246691 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種精密的用於光刻工藝控制的掩模和晶圓檢測設備。它提供關鍵的計量數據,以提高零件產量、質量和成本控制。KLA CI T120是一種最先進的自動掩碼和晶片檢查工具,能夠分析各種工藝層上的掩碼數據、標線、單個字段和全晶片級模式。這一綜合系統考慮到織物中使用的各種基材，包括1倍和2倍的標線，其分辨率範圍為0.25至0.45 μ米。使用專有的高級算法,ICOS CI T-120允許用戶比較排泄率、缺陷、設計元素及其尺寸、間距、光學密度、幾何參數、源類型和其他相關參數,用於傳統的光學級別檢查。除了快速準確的光學檢查功能外，KLA CI-T120還提供了一系列高級功能，如重叠、邊緣放置、焊接面罩和配準，此外還有關鍵的工藝檢查。該單元還使用戶能夠在一個可以通過校準改進的過程中快速識別和識別問題。KLA/ICOS CI T-120對工藝變化和底物差異也具有很高的耐受性，這意味著它可以在極低濃度，低至0.001%的情況下識別工藝變化。這臺機器還能夠檢測小至0.1微米的缺陷，並提供廣泛的報告功能。CI T120是尋找經濟高效可靠的掩模和晶圓檢測資產的理想工具。它嚴格的過程控制使用戶能夠確保產量保持一致,強大的設計提供了較低的擁有成本,靈活的檢查功能提供了可觀的投資回報。