二手 KLA / ICOS CI-T120 #9281542 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種先進的半導體織物掩模和晶圓檢測設備。它具有由四個組件組成的分布式體系結構：圖像捕獲/處理、圖像分析、系統控制和數據存儲。圖像捕獲/處理組件包含一個定制的高分辨率CCD攝像機單元,用於捕獲蒙版和晶片的圖像。傳感器共有超過200萬像素，可以捕獲圖像，最大分辨率為10微米。此外，機器還包含復雜的圖像處理硬件和軟件模塊，能夠檢測和分類缺陷。圖像分析組件具有專用的硬件和軟件系統,用於分析捕獲的圖像。該工具使用復雜的算法檢測缺陷，並根據形狀、大小、對比度等各種參數對其進行分類。此外，資產可以進行電子束、X射線和其他形式的粒子束檢查，以識別遮罩和晶圓缺陷。模型控制組件是KLA CI T120的核心，負責設備的平穩運行。它包含一個完全可編程的計算機板，用於控制圖像捕獲、分析和數據存儲。此外，它還控制系統的參數和校準，包括暴露時間的選擇和分析的頻率。單元控制還提供了與晶圓廠中其他系統直接通信的接口。最後，數據存儲組件被設計為存儲所有數據的檢查蒙版和晶片。它存儲來自圖像捕獲和處理的原始數據,以及來自圖像分析組件的分析輸出。此外,它還具有用於存儲測試結果、維護日誌以及與刀具操作相關的其他相關信息的數據庫計算機。總體而言，ICOS CI T-120是一種先進的掩模和晶圓檢測資產，旨在滿足半導體織物的要求。其高度定制的硬件和軟件系統使其能夠以10微米的分辨率捕獲圖像、檢測和分類缺陷以及存儲所有收集的數據以便進一步分析和故障排除。此外,它的分布式體系結構確保了靈活性、可擴展性以及與不同晶圓廠設置的兼容性。