二手 KLA / ICOS CI-T120 #9293270 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種高精度的掩模和晶片檢查設備,旨在對各種基材（包括各種尺寸的掩模和晶片）進行快速、準確和可靠的檢查。該系統利用先進的光學技術精確檢測、檢查和測量掩模和晶片上的缺陷，也可用於檢測表面顆粒缺陷。該單元具有大型固態遠程中心成像柱,可實現最大的光通量和圖像精度。該成像柱與高靈敏度CCD相機相結合，可捕獲高質量的蒙版和晶圓表面圖像。機器也可以調整，以適應不同的基材尺寸和形狀。除了成像能力外，KLA CI T120還配備了高端成像工具，能夠進行高分辨率測量和粒子異常調查。集成的機械級允許資產逐步移動基板,從而實現準確的缺陷檢測和成像。此外,該模型還配備了自動蒙版對準器,旨在精確對齊和測量每種蒙版設計,並確保準確性和可重復性。ICOS CI T-120還具有高效的缺陷審查和決策過程。設備生成詳細的分析報告,介紹缺陷的位置、大小和特征,從而能夠快速準確地檢測和分類缺陷。此外,該系統還具有強大的用戶界面和自動化功能,允許用戶快速輕松地自定義檢查、添加和刪除晶片以及查看圖像和報告。總體而言，CI T120是一個功能強大但直觀的掩模和晶圓檢測單元，旨在檢測和測量各種缺陷。該機器能夠提供極高的精度，並提供詳細的缺陷信息和用戶界面功能的組合。適合大容量掩模、晶圓檢測或批量工藝控制等應用。此外，由於其靈活的設計，CI-T120適用於許多其他檢驗和計量應用。