二手 KLA / ICOS CI-T120 #9312491 待售
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KLA/ICOS CI-T120是天空型自動面膜和晶圓檢測設備中的一只眼睛。這一高性能檢測系統能夠高效、在線生產和快速實施下一代模具檢測解決方案。KLA CI T120配置有一個自動的五軸x/y/z/旋轉/傾斜級,其中包括獨立於視覺機操作的自身運動控制單元。這種運動控制工具使半導體晶片的快速掃描能夠實現多模具檢查、對準和後檢驗質量控制。ICOS CI T-120利用其專有的高級模式識別和5-AXIS顯微鏡階段檢查2D、3D和階梯式特征。KLA CI T-120設計用於同時檢查裸晶片和圖案化半導體晶片的缺陷。KLA CI-T120可配置UV照明和最新成像技術Mega-Core圖像傳感器,以增強成像效果。該資產還支持兩個全分辨率攝像頭,用於同時檢查。KLA/ICOS CI T-120配備了先進的超精確未對齊對齊控制,可自動對齊和對齊各種功能和功能。這個穩定的模型也允許在重複模式的配準上完全靈活。CI-T120能夠檢查和測量模式和缺陷,包括電壓限制、開放/短褲、開源、線寬和模式不對齊。先進的成像和專有檢查算法還可以識別多種模式,如非接觸式、線路填充、線路交叉、電壓限制、晶格和光暈結構。該設備可以測量參考定位標記以及缺陷的高精度和低精度,並且可以調整視野以獲得最大的捕獲和精度。ICOS CI T 120靈活的軟件平臺使集成和操作變得輕松,並為用戶提供了一整套檢查和報告工具。操作系統軟件可以直接從嵌入式多處理器單元運行。通過提供圖形用戶界面以及訪問觸摸屏,進一步簡化了用戶控制。軟件還包括一系列功能和控制選項,可根據特定需求自定義設備。CI T-120專為全天候操作而設計,它為自動掩碼和晶片檢查提供了高效、無錯誤的解決方案。10微米的最大運動精度及其亞微米的z軸控制確保了關鍵模具級特征的清晰、準確的通過或失效等級。這臺機器是半導體制造商可靠易用的解決方案,旨在最大限度地提高設備生產的吞吐量和質量。
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