二手 KLA / ICOS CI-T120 #9360770 待售

KLA/ICOS CI-T120是一種高精度晶片和掩模檢測設備，利用雙方向照明進行精確測量和檢測缺陷。該系統提供了業界領先的準確度和速度檢查面罩和晶片.KLA CI T120采用先進的光學單元設計,利用雙軸成像（「升高和減小散焦」）提供居中成像機,以確保最高的精度和厚度測量。該工具可以通過自動缺陷分類，單步檢測掩模或晶圓表面的顆粒和缺陷，如劃痕、汙染物和其他缺陷。ICOS CI T-120還具有環境調節系統,可監控和補償可能影響晶圓和掩模成像的環境因素。該資產在渾濁的環境中提供卓越的性能,因為通過先進的光學工程大大減少了環境條件的範圍,即使在更具挑戰性的條件下,圖像也能保持清晰。該模型允許通過高速線性掃描快速獲取數據,從而提供對吞吐量影響最小的高質量圖像。CI T120還具有高級模塊化設計,可確保部件的最佳維護和更換。ICOS CI-T120具有廣泛的檢查功能,包括掩模檢查、晶圓檢查、缺陷檢查、關鍵尺寸測量和3D深度測量。它可用於小批量到大批量生產以及故障分析應用。CI-T120設備提供了卓越的精度和缺陷檢測，使其成為掩模和晶圓檢查的理想選擇。該系統提供高速數據采集,吞吐量影響最小,可提高設備產率。它采用模塊化設計,確保了部件的輕松維護和更換,從而確保了最大的設備正常運行時間。先進的環境調理機即使在惡劣的條件下也能確保清晰的圖像。該工具還提供了廣泛的檢查功能,使其成為低批量生產的理想選擇。