二手 KLA / ICOS CI-T130 #293828078 待售

KLA/ICOS CI-T130是一種基於亮場成像的自動掩模和晶圓檢測設備。該系統擁有390毫米x 520毫米的視場，非常適合檢查大面積的光掩模和晶圓。KLA CI-T130配備了高分辨率CCD攝像頭和LED光源，同時采用了先進的圖像處理和客戶專用算法。該系統能夠以全自動的方式檢測光掩模和晶圓表面的缺陷並使其可視化，精度為2-3 um。該單元的軟件可對信噪比為4：1的缺陷進行精確的3D測量。其用戶友好的3D圖形用戶界面（GUI）允許自定義檢測閾值和自動圖像分析等檢查參數。用戶還可以為晶圓的不同區域分配不同的攝像頭設置,例如增益,以獲得優化的結果。對於晶片,機器可以通過金屬缺陷檢查檢測缺失和錯誤的極性缺陷,以及通過多孔缺陷檢查檢測缺失或額外的極性缺陷。此外,它還可以檢測接觸的開口和短褲,破碎的光刻線,和橋接圓角.該工具的劃痕/打印顏色測量可以區分礦物和有機汙染物,以及測量汙垢和環境汙染物。其他特征包括光場、紅外檢查、特征壓裂、塗層、表面應力和汙染物覆蓋測量。ICOS CI-T130提供了一種清潔檢查功能，旨在檢測塵埃顆粒、劃痕和其他雜質，這些雜質已經逃脫了傳統的在線清潔過程。該資產不僅提供絕對緊密的公差足跡和線寬測量,而且還提供了關鍵特征區域的完整亞微米地形。材料分類也可以通過CI-T130進行。該模型操作流暢可靠,非常適合進行掩模和晶片檢查,無論工作的大小或復雜性如何,都能確保獲得最佳效果。其直觀的用戶界面使其既適合新手又適合經驗豐富的技術人員，而其先進的功能則使質量保證更加容易和高效。利用KLA/ICOS CI-T130，KLA創造了一個強大的掩模和晶圓檢測設備，既準確又易於使用。