二手 KLA / ICOS CI-T130 #9202297 待售

KLA/ICOS CI-T130是一種掩模和晶圓檢測設備。它設計用於在單個自動化平臺中檢查集成電路光敏掩碼、晶片和磁帶。該系統專為高吞吐量、無與倫比的準確性、無與倫比的可重復性和卓越的缺陷檢測而設計,並能夠快速識別和區分這些曲面上的缺陷。KLA CI-T130的核心技術是其集成檢測引擎。它結合了多種電氣成像、物理成像和光學成像技術來檢測和表征否則可能不會被發現的缺陷。其板載光學顯微鏡提供高分辨率的檢查和成像能力。該單元使用固態激光器聚焦於特征邊緣,以便檢測蒙版和晶片上存在的特征的模式和大小上的細微差異。該機還包括支持缺陷檢查、分析和校正的高級軟件、算法和工具。它具有靈活的檢查模式，便於對個別工作流程進行編程和定制檢查。它還具有較高的吞吐量,每小時可處理800多個晶圓或掩碼。ICOS CI-T130利用獨特的缺陷審查技術幫助識別錯誤與錯誤警報。此技術分析晶圓或掩模缺陷圖像,以快速查明和識別缺陷,即使傳統缺陷緊密相連。這使得它能夠成功地識別即使是最小的缺陷，這對於生產的準確性是必不可少的。它還包括自動化缺陷工程工具,以幫助完成修復和調試任務,並提供工程信息。KLA預測分析和其他用於識別潛在缺陷的高級檢測功能進一步支持了該工具。它包括用於表征缺陷的高級數字算法和工具,以確保快速準確地識別缺陷。它還能夠提供先進的計量服務來測量和分析晶圓參數，以優化生產過程。總體而言,CI-T130是業界領先的面膜和晶圓檢驗資產,有助於確保最大生產效率和產量。其先進的檢測引擎、靈活的檢測模式和缺陷審查技術確保了行業領先的準確性和可重復性。它還提供了強大的分析和計量功能來優化生產過程。