二手 KLA / ICOS CI-T130 #9304378 待售

KLA/ICOS CI-T130是一種用於檢查微電子工業中的半導體掩模和晶片的掩模和晶片檢測設備。該系統結合了先進的圖像處理軟件和先進的光學設備，包括最先進的線掃描相機和光學輪廓傳感器。這將創建一個功能強大且自動化的檢查解決方案,提供精確的缺陷分析和快速的結果。KLA CI-T130利用Visiononix Falcon 5V4電子束檢測單元提供自上而下和側視圖計量的完整3 D曲面分析。它的四個投影和透鏡提供小至0.2微米的圖樣的0.35微米分辨率成像，而不使用濾鏡。這使機器能夠準確檢測最小缺陷。該工具還配備了高速、超靈敏的線掃描攝像頭。這款相機的分辨率為3.5微米，用於缺陷檢測，可以捕捉大小結構，圖像清晰度極佳。光學輪廓傳感器測量接觸孔等特征的深度,或檢測晶圓或掩模表面上凸起、突出或下切的特征。除了檢查功能外,ICOS CI-T130還提供數據比較、缺陷分析和產量分析等功能。采用集成模式匹配算法檢測和分類產量臨界缺陷.檢查資產還提供了用於設置檢查和查看結果的圖形界面。CI-T130設計易於使用,具有用戶友好的圖形用戶界面和直觀的工作流。它還支持多種語言和高級圖形功能,以幫助詳細簡化。它具有精確的舞臺定位模型，並且可以擴展與可選的配件濕處理或特殊應用。總之,KLA/ICOS CI-T130是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,它將復雜的成像和模式匹配算法與先進的光學和3D成像系統相結合,可實現快速、精確的成像。