二手 KLA / ICOS CI-T1X0 #9351871 待售
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KLA/ICOS CI-T1X0是一種用於制造集成電路的掩模和晶圓檢測設備。它專門用於檢查在IC制造過程中使用的掩模和晶片上形成的模式。該系統由幾個組件組成,包括自動模式識別、表面檢查、輪廓測量、叠加測量、冷卻淋浴和光源。KLA CI-T1X0單元中的自動模式識別用於確定掩模和晶片中是否存在任何缺陷。它檢查廣泛的特性，如觸點、通氣、電阻器和電容器。它還在晶片的表面和邊緣尋找缺陷和汙染物。表面檢查用於識別掩模和晶片表面上存在的任何缺陷或異物。這些曲面可以使用明場、暗場和對比度反轉技術在放大倍數範圍內進行檢查。輪廓測量可用於測量掩模和晶片的厚度和厚度變化。這些測量還用於確定各種材料層和基板之間的關系，以及任何空隙或其他不連續性。覆蓋測量用於測量在IC制造過程中使用的不同材料和掩模的對齊方式。它還有助於確保不同層正確粘合在一起。冷卻淋浴用於在檢查過程中保持口罩和晶片的冷卻。這有助於降低材料發生熱損壞的風險。最後，設計ICOS CI T1X0中的光源來照射不同波長的材料。這允許對掩模和晶片進行詳細分析，揭示存在的任何缺陷或雜質。總體而言,KLA/ICOS CI T1X0掩模和晶片檢測機是確保使用IC制造工藝生產的集成電路質量的寶貴工具。由於其自動模式識別、表面檢查、輪廓測量、叠加測量、冷卻淋浴和光源,該工具能夠準確檢測IC中存在的任何缺陷。
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