二手 KLA / ICOS CI-T1X0 #9351874 待售
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KLA/ICOS CI-T1X0是一種用於在先進技術節點中進行高性能缺陷檢測的掩模和晶片檢測設備。它提供了廣泛的配置,使客戶能夠自定義其檢查系統,以實現優化的檢查性能以及晶圓和掩模尺寸。基本配置包括一個6英寸乘8英寸的掃描模塊，方便高分辨率的檢查能力。此外,該系統與200 mm以下的各種晶圓尺寸兼容。KLA CI-T1X0有一個被稱為空氣塗層高數值孔徑（AHN）顯微鏡的照明裝置。這種高精度的光學成像機被設計用來檢測和聚焦即使是在掩模和晶圓表面最小的缺陷。另外，該工具中的光源是一個平面照明器，它可以調整完美的成像對準。集成高清相機提供快速準確的缺陷成像。它配備了一個Hi-Vision Sensor,該傳感器經過調整,即使是最小的缺陷也可以從0.8米以上μ拾取。此外，該資產采用ImageFocus+算法進行編程，有助於提高對比度和分辨率，確保準確檢測缺陷。該模型采用耐用、耐振的部件，如硬質塗層晶片卡盤，以確保高精度掃描和成像。此外,ICOS CI T1X0還配備了強大的計算功能,旨在處理從顯微鏡和照相機接收的數據。對於每個晶片掃描會話,設備將生成並存儲詳細的缺陷報告,包括缺陷的位置、大小和類型。KLA CI T1X0通過最新的軟件技術和先進的分析技術得到進一步增強,以支持精確的晶圓檢測和快速解決復雜表面問題。增強的過程控制軟件是一種功能強大的分析工具,可提供洞察力,確定在表面條件和缺陷方面的趨勢和關註的問題。總體而言，KLA/ICOS CI T1X0是一種用於先進技術節點的強大的掩碼和晶圓檢測系統。它是一個極其可靠和高效的單元，旨在提供高質量的檢驗結果，確保即使是最小的缺陷也能準確檢測。
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