二手 KLA / ICOS CI T620 #9384157 待售
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KLA/ICOS CI T620是一種全自動掩模和晶圓檢測設備，旨在支持半導體IC的高效生產。該系統采用多角度、多維成像模式的標線、晶片、掩模和相關基板，以便檢測表面顆粒和缺陷。它配有高分辨率單色CCD相機，配有本色光學器件和用於查看圖像的高分辨率液晶顯示器。此外，還使用大功率LED單元照亮檢測目標，同時安裝兩個激光自動對焦單元，精確瞄準檢測地點。KLA CI T620機采用了一系列掃描選項，以便從檢查過程中獲得最佳結果。其中包括標準的「1x1」選項和「2x2」選項,通過在垂直和水平方向上掃描來檢查整個區域。該工具利用多種檢測方法來區分好像素和壞像素。其中包括：灰度直方圖、統計模式識別和局部分析缺陷密度.可以使用基本或高級檢查模式，基本模式提供對單層或雙層掩模和晶片的快速掃描。先進的模式適用於多層、超精細的器件檢測。資產還提供了大量可選的數據分析工具,以幫助工程師更好地了解檢查結果。其中包括缺陷查看列表,允許用戶以表格格式查看檢測到的缺陷。另一個常用的選項是「缺陷報告」,它提供了檢測到的缺陷的列表列表,以及其他參數（如大小、形狀和材料類型）。ICOS CI-T620可配置為檢測和分類各種缺陷類別,包括模式識別和外來材料。利用電測、電子顯微鏡技術、電扇出分析等多種方法進行缺陷篩選。該模型通過三種抽樣模式-聚焦-曝光（FE）模式、可變聚焦法（VFM）和兩階段抽樣法（TSM）確保有效抽樣。CI-T620是一種可靠的設備,具有快速的響應時間和功能,可以根據特定的應用程序進行定制,並利用先進的技術進行擴展。它提供了準確和可重復的檢驗結果,使工程師能夠快速修復任何缺陷並提高其制造產品的整體質量和可靠性。
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