二手 KLA / ICOS WI-2200 #9228011 待售

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ID: 9228011
Automated inspection systems Includes: NEWPORT Motion controller Aladdin illumination controller KLA / ICOS HM-200 Wafer handler KAWASAKI Robot handler.
KLA/ICOS WI-2200掩模和晶片檢查設備是一種自動化的全場成像系統,能夠快速、高精度地檢查關鍵圖樣材料。該單元利用激光器和數字光學器件能夠在nm分辨率水平上進行檢查,並針對各種晶圓級和掩模級應用進行了優化。機器的工作原理是捕獲圖樣化材料的圖像,如晶圓或標線,然後用專門的算法分析這些圖像以檢測偏離設計的情況。該工具可以實時處理數據,並且能夠自動對數據進行分類和分析,以快速識別過程缺陷。KLA WI-2200提供高吞吐量,具有快速的掃描時間和較低的每芯片成本。該資產具有強大的成像和分析工具,如全場缺陷檢測、焦點映射和圖像縫合功能。它在晶圓級和掩碼級應用程序中都提供了可重復的精度,並提供了最小的誤報率。自動化算法還允許更快的過程控制和鑒定。除了自動檢查外,ICOS WI-2200還提供手動檢查功能,使用戶能夠直接查看和標記掩模/晶片上的缺陷。該模型還包括流程控制、排隊和運行時分析功能。WI-2200支持各種布局,包括正面和背面通過、紅外、OPC、計量和接觸孔。它易於升級和配置,允許客戶根據自己的特定需求擴展和定制設備。它還具有遠程支持功能,允許用戶從任何位置排除故障並優化系統。總體而言,KLA/ICOS WI-2200 Mask&Wafer Inspection Unit是一臺先進的自動化檢驗機,可為各種陣列材料應用提供快速、準確和可靠的過程缺陷檢測。該工具具有高度可配置和易於升級的特點,其遠程支持功能使其成為尋求經濟高效的檢查解決方案的客戶的理想選擇。
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