二手 KLA / ICOS WI-2280 #293630246 待售
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KLA/ICOS WI-2280 Mask&Wafer Inspection設備是一種自動光學檢測(AOI)平臺,專為高級缺陷檢測和分析而設計。它是一個完全可配置和可擴展的平臺,允許定制檢查策略和參數,並提供最準確的檢查結果。系統主要部件包括高分辨率CCD攝像頭、高分辨率光學、智能圖像識別分析軟件、雙軸對準晶片級、專利超精確校準技術等。CCD相機提供了最小像素大小為3.2 µm的高分辨率圖像,而高分辨率光學器件則提供了較大的景深。該單元使用3-D圖像捕獲技術以數字方式捕獲晶圓上設備的詳細圖像。然後,圖像識別軟件將分析每個圖像的表面和表面下方的缺陷。它可以檢測到小至4 µm的缺陷,使其能夠準確識別人眼看不見的晶圓缺陷。晶片級是一種雙軸對準機,在定位和對準晶片時提供亞微米精度。這樣可以確保晶片在捕獲圖像之前正確對齊。獲得專利的超精確校準技術確保檢驗參數正確,並且該工具始終提供準確可靠的結果。資產附帶了一系列軟件工具,使用戶能夠自定義檢查策略、為可接受的缺陷限制設置閾值以及監控結果。分析軟件還對最終結果進行分析,並向用戶提供反饋。KLA WI-2280模型非常適合進行大批量檢查,提供高效、快速的缺陷識別和極其準確的結果。它能夠識別各種缺陷,並可用於檢查各種結構,如金屬線、有源裝置、觸點和太危險而無法測量(TDTM)。ICOS WI-2280 Mask&Wafer Inspection設備非常適合各種關鍵應用,以合理的價格提供卓越的性能和準確性。它的先進技術為最苛刻的檢查要求提供了高效且無缺陷的工藝。
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