二手 KLA / TENCOR 5200XP #9279019 待售

KLA/TENCOR 5200XP晶圓測試計量設備是專門為半導體器件制造行業設計的高端晶圓檢測系統。KLA 5200XP提供先進的光學計量、精確的缺陷檢測以及精確的2D和3D測量。該裝置能夠快速檢查超過24個不同的成像地形，以檢測新出現的納米缺陷。其激光幹涉儀采用專利設計，有助於保持非常精確的光學計量對準和準確性，為準確檢測缺陷、三維輪廓測量和成像提供可靠基礎。TENCOR 5200 XP晶片測試計量機配備了1000級潔凈室兼容環境和最新的5軸掃描頭，能夠通過4象限精密掃描在所有特征中高速持續成像。5200XP具有強大的顯微鏡,變焦場可達300倍,可有效檢查和聚焦10 nm以下的特征。利用計算機視覺技術，KLA/TENCOR 5200 XP以最高精度精確測量每一個參數。KLA 5200 XP與一種新型的模式識別工具配合使用，可以通過其統計正缺陷（SPD）算法快速檢測和測量任何類型的缺陷。資產還包括帶有直觀圖形用戶界面（GUI）的高端軟件套件。結合用戶可調整的統計設置和靈活的檢查標準,GUI可以針對特定需求進行定制,並為用戶提供從頭到尾監控過程中控制的功能。此外,高度可定制的5200 XP還包括實時缺陷跟蹤、獨特的高級數據提取功能和功能強大的報告模塊。TENCOR 5200XP的實時圖像/數據分析和報告功能可確保在需要時采取快速糾正措施。KLA/TENCOR 5200XP是一種易於操作但功能強大的工具,可提供半導體器件技術人員所需的模型靈活性。從快速準確的缺陷檢測到多重地形成像，KLA 5200XP晶圓測試和計量設備是提供可靠檢測結果的重要工具。