二手 KLA / TENCOR / ICOS CI 9450 #9312490 待售
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KLA/TENCOR/ICOS CI 9450是為光掩模和晶片質量保證而設計的視覺檢查設備。用於檢測光掩模和印刷晶片表面的缺陷。該系統使用多個照明源和同一標本的多個視圖進行檢查。高分辨率攝像機捕獲樣本的圖像,而強大的軟件算法分析圖像檢測缺陷。KLA CI 9450使用校準二元光學(CBO)技術,以確保精確且可重復的缺陷檢測。這項技術使它能夠高精度地識別、計數和分類缺陷。此外,它能夠區分粒子和模式相關的缺陷。ICOS CI-9450旨在滿足當前和未來臨界尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)和掩模計量系統的要求。其專利技術使其能夠檢測到小至0.6微米的缺陷。它采用基於像素的模式識別、對比度測量、動態範圍分析和邊緣檢測算法的組合進行故障檢測。它還在高吞吐量速度下提供了一個無誤報的檢測環境。它可以每小時檢查多達200個晶圓,每小時檢查高達5000平方英寸的光掩模。該設備的小占地面積使其能夠集成到生產線中進行自動檢查。KLA CI-9450是一個理想的選擇生產線,需要一個可靠的檢測機器具有卓越的精度和精確度。其先進的技術和特點使其成為半導體和光刻行業質量保證任務的理想選擇。
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