二手 KLA / TENCOR / ICOS CI-T130 #293596031 待售

KLA/TENCOR/ICOS CI-T130是一種用於半導體器件制造的掩模和晶圓檢測設備。該系統為檢查半導體晶片和掩模的表面缺陷、缺陷和其他可能影響晶片產量或可靠性的缺陷提供了可靠的手段。KLA CI-T130采用串行雙光束光學成像裝置，具有可變孔徑光學機器和可變聚焦。這種技術組合提供了卓越的分辨率和可重復性，確保半導體掩模和晶片具有統一的外觀和結構完整性。該工具還集成了多種技術,如自動聚焦、孔徑和現場失真校正、立體聲成像以及自動缺陷檢測,以確保無缺陷晶片和掩碼。ICOS CI-T130提供的其他功能包括可調節掃描範圍以檢查整個晶片、用於以低功耗模式檢查的低電流低噪聲模式、用於自動定心和縫合幀的智能攝像頭資產、用於超規範運行的遠程警報模型以及用於存儲掃描、統計和掩碼的計算機化設備。已對CI-T130進行測試和驗證,以檢查尺寸不超過4英寸的晶片和口罩,並對較小的晶片和口罩提供更高的分辨率和可靠性。其獨特的設計和特點提供了一種高速可靠的檢測半導體晶片和掩模的手段，每次都保證了高質量的產品。該系統是完全自動化的，這意味著不需要操作員幹預或調整來檢查晶片和口罩。TENCOR CI-T130旨在節省時間和金錢,同時提高產量,提供滿足生產需求的有效方法。