二手 KLA / TENCOR / ICOS ICOS T830I #293652197 待售

KLA/TENCOR/ICOS KLA T830I是為高質量應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統使用高分辨率光學傳感器、快速數據采集以及一套用於高級分析的功能強大的軟件。KLA/TENCOR/ICOS ICOS T830I裝置利用1600萬像素高靈敏度CCD陣列進行成像和檢查，使人們能夠清楚地看到低至1.75微米的特征。該機還具有高數值孔徑（NA）和1.75微米的高橫向分辨率,以確保高圖像質量。此外，該工具還配備了一個物鏡，對成像進行了優化，具有1.25的高數值光圈和12.98毫米的視場。KLA ICOS T830I的硬件包括多個階段,從手動xyz階段到具有視覺引導程序的自動化階段,以及具有精確階段對齊功能的閉環系統。資產還有一個獲得專利的雙軸傾斜模塊，在檢查時確保精確的晶圓對準。ICOS ICOS T830I使用來自ICOS的高級掩碼和晶圓檢查軟件。該軟件允許進行詳細的圖像分析、精確的特征識別和定制的檢查程序。該軟件利用機器學習算法自動識別缺陷，能夠識別各種缺陷類型和缺陷類型。在使用TENCOR ICOS T830I時，用戶可以從多種檢查方法中進行選擇，以獲得最佳性能。這些方法包括手動檢查、自動檢查、統計過程控制、設計可測試性以及其他定制解決方案。高性能硬件和高級軟件的結合使ICOS T830I一種強大的掩碼和晶圓檢測模型。憑借其高分辨率和先進的軟件能力，這款設備非常適合用於平板顯示器、半導體、電子、醫療設備等行業。