二手KLA / TENCOR / INSPEX(光罩與晶圓檢測)待售

KLA Corporation，原名KLA-Tencor，是半導體行業先進工藝控制和產量管理解決方案的領先制造商。他們的INSPEX系列掩模和晶片檢測設備為確保半導體掩模和晶片的質量和完整性提供了全面可靠的解決方案。KLA的INSPEX系統采用先進的光學技術和算法來準確檢測和分類掩模和晶片上的缺陷。這些單元配備了高分辨率成像能力，使它們能夠捕獲樣品的詳細圖像，分析數據，並識別任何異常或缺陷。它們提供快速可靠的檢驗結果，幫助半導體制造商提高產量，降低生產成本。KLA產生的類似物之一是TPC 8520系統。它設計用於對先進光刻工藝中使用的臨界掩模進行高速檢查。TPC 8520提供出色的缺陷檢測靈敏度,同時保持較低的錯誤檢測率,確保高檢測質量。又如Eagle系統，針對晶圓檢測進行了優化。Eagle提供準確、高通量的缺陷檢測，能夠檢測各種缺陷類型，如顆粒、劃痕和圖樣偏差。適用於前端和後端半導體工藝。EX 3500是KLA提供的另一套口罩檢查系統。它采用先進的深紫外線（DUV）成像技術,能夠精確可靠地檢測和分類缺陷。EX 3500能夠檢查各種掩碼類型，包括二進制掩碼、嵌入式衰減相移掩碼（EAPSM）和交替孔徑相移掩碼（Alt-PSM）。總體而言,KLA的INSPEX掩模和晶圓檢測機為半導體制造商提供了最先進的解決方案,使他們能夠確保產品的質量和可靠性,提高產量並降低生產成本。