二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #121998 待售

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ID: 121998
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
In-line patterned wafer inspection system, 8", 1998 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一種掩模和晶圓檢測設備,旨在方便半導體器件的生產。該系統允許檢測多個掩碼和晶片上的嚴重缺陷,以確保設備的最高質量。該單元包括高性能相機、4通道激光衍射技術、集成模式識別和成像探針。KLA 2138 XP還附帶了一個全面的軟件套件,提供精確的掩模和晶圓檢查所需的靈活性和準確性。TENCOR 2138 XP利用單攝像頭來捕捉蒙版和晶片的影像。攝像機頭由一個數字圖像傳感器和光學器件組成,這些傳感器和光學器件可自動根據所檢查樣品的放大倍數進行調整。這樣既可以實現小特征的高分辨率,又可以實現大特征的低放大倍率。高分辨率圖像使用戶能夠以無與倫比的精度檢查納米級特征。機器中使用的4通道激光衍射技術提供了非凡的檢測靈敏度。4通道激光衍射利用多個激光束檢測掩模和晶圓上的微小缺陷。該工具將多個激光束圖像一起處理,從而產生比單個光束資產高得多的靈敏度。2138 XP強大的模式識別功能使該模型能夠輕松識別和區分關鍵缺陷和非關鍵缺陷。此外,與設備集成的高級成像探測器提供了廣泛的成像功能。這些功能包括背面成像、表面紋理分析和反向色調檢查。PROMETRIX 2138 XP的成像探針對表面紋理和背面圖案質量提供了極為精確的分析。KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP還包括一個全面的軟件套件,其中包括用於執行各種掩碼和晶圓檢查任務的一系列功能強大且靈活的工具。該軟件提供了缺陷檢測和分類、自動掩碼註冊和缺陷分類等工具。此外,該軟件還提供用戶友好的菜單和界面,使用戶能夠輕松瀏覽系統的復雜性。KLA 2138 XP為掩模和晶片提供了最高水平的缺陷檢測精度和覆蓋範圍。其高分辨率相機、4通道激光衍射技術和集成模式識別與成像探針,結合其綜合軟件套件,為用戶提供了保證其半導體器件最高質量水平所需的工具。
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