二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9004619 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是為最嚴格的關鍵應用而設計的高端掩模和晶圓檢測設備。它具有卓越的光學、機械設計和電子設計,可提供更高的吞吐量、更好的分辨率和更全面的晶圓分析。該系統旨在滿足半導體行業嚴格的制造要求，是檢查最具挑戰性的掩模和微電子器件的理想解決方案。KLA 2138 XP具有混合光學機械單元,可進行詳細的粒子分析和快速的性能。光學機器包括一個二向色鏡，它從不同的方向性輸入以及全膠片和亞微米成像技術中透射和反射光。鏡子能夠從晶圓的正面和背面捕捉光，從而實現缺陷的精確三維圖像。它還突出顯示了最微弱的缺陷,使它們在圖像中易於識別。TENCOR 2138 XP的機械架構設計既能快速準確地檢查大小區域。其高吞吐量能力和精密的控制使其非常適合於大容量校正屏蔽和電路上的關鍵缺陷。它具有高靈敏度，敏感面積可達8.5 µm，延伸範圍可達15 µm。總體而言，它可以每小時檢查多達1,000個晶圓，比其他系統具有顯著的效率優勢。該工具還集成了最新的高分辨率電子成像技術，以檢測甚至最微小的缺陷。電子成像資產與光學機械檢測模型無縫集成，提供了廣闊的視野、高檢測精度和廣泛的有用分析特征。總而言之，2138 XP為半導體行業提供了優越的掩模和晶圓檢測能力。其最先進的光學、機械和電子成像技術提供了速度、精度和可靠性,使其成為檢查當今最復雜的微電子設備的理想選擇。