二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9153008 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一種用於檢查光掩模和晶片上的關鍵模式缺陷的掩模和晶片檢測設備。該系統利用先進的電子束(電子束)檢測技術來分析設備的圖像,並識別出納米尺度上的任何缺陷。該單元可以檢測缺失線路、短路、開路、底切特征和線寬等可能的誤差。KLA 2138 XP由三個主要組件組成:電子束設備、成像和分析。電子束設備負責掃描設備表面並生成其表面圖像。然後,成像機將獲取這些電子光束圖像,並使用高級算法對其進行處理,以識別和分析設備上的任何缺陷。分析工具隨後獲取分析結果,並應用各種高級算法來確定缺陷的位置、大小和類別。所有這些分析都是實時完成的,以確保任何可能的缺陷被檢測和準確分析。TENCOR 2138 XP使用大型高精度電子束,以幾個不同的角度和距離掃描設備,以確保全覆蓋。這樣可以提供更精確的圖像,然後使用高級算法分析缺陷。它可以掃描小至0.2微米的表面,確保檢測和分析所有可能的缺陷。然後,成像資產利用其高分辨率攝像機捕獲設備的圖像,並將這些圖像轉換為有用的數據點。分析模型隨後獲取這些數據點並應用各種算法來確定發現的任何缺陷的大小和位置。它還可以檢測和區分重叠區域,從而在識別任何缺陷時提供更好的準確性。分析設備還允許用戶設置自定義參數,如缺陷大小和形狀,以便獲得更好、更準確的結果。PROMETRIX 2138 XP設計為可靠、高效、精確的掩碼和晶圓檢測系統。利用先進的電子束檢測技術和先進的分析單元,確保準確的缺陷分析和檢測。其先進的分析功能使其能夠產生可靠的結果,即使在極小的曲面上也是如此,而且其用戶友好的界面使其易於操作。最後,它的模塊化設計讓用戶可以方便地為特定的應用升級和定制機器。
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