二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9229839 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一種高速光學掩模和晶圓檢測設備，可以測量半導體制造過程中的關鍵器件參數。該系統旨在檢測半導體器件中的潛在缺陷，確保保持質量和可靠性水平。它檢查高達8英寸直徑的晶片和基材，並以高達每小時2000晶片（WPH）的高速運行。KLA 2138 XP具有獨特的4列設計，允許兩個獨立的通道和兩個同時的檢測站點。這樣就可以捕獲至少兩倍的圖像（每小時160,000張圖像），而不是其他傳統的掩模檢查系統。此外，兩個平行的檢測點使得該單元非常適合並排的過程比較，如那些需要在光刻或植入比較。機器有多個傳感器來監視檢查過程的每個步驟。這包括先進的線緣粗糙度（LER）傳感器、幹涉儀、伽馬射線和波前感測。每個傳感器都測量檢測、分類和糾正缺陷所必需的不同屬性。TENCOR 2138 XP還使用缺陷全局增強（DGE） （Defect Global Enhancement） （DGE）這一先進的專有算法快速檢測大大小小的缺陷。利用其創新的設計，DGE算法可以從晶圓背景中解析出小粒子，識別無缺陷信號處理中的缺陷。該工具具有各種軟件包,使其能夠檢查大多數類型的基板-如Solar、MEMS、LCD和OLED設備-並以亞微米分辨率提供詳細的結果。它還配有集成的3-D補償技術，可以調整和校正圖像，以確保精度和精確度。最後,資產配備了安全的文件系統,允許基於憑據的安全存儲和數據保護。總體而言,PROMETRIX 2138 XP是一種功能強大且可靠的掩模和晶圓檢測模型,旨在以驚人的精度和速度檢查最優秀的半導體器件。憑借其先進的傳感器、專有算法和安全的數據保護,此設備是任何希望確保一流質量和可靠性的半導體鑄造廠的絕佳選擇。