二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9206058 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300是為先進半導體制造而設計的掩模和晶圓檢測設備。它是一個高分辨率的系統，結合了先進的光學成像單元和先進的計量機。它具有晶片級和模具級檢測的能力，可以檢測各種基板上的各種缺陷。光學成像工具由高分辨率CCD相機和強大的光譜成像資產組成。CCD相機允許對矽、金屬、聚合物等不同基板進行精確成像。光學成像模型可以檢測到多種缺陷，如劃痕、碎片包圍的劃痕、粒子和線寬偏差。在計量方面，KLA INS 3300利用自動點源對準設備，準確快速地測量線寬、叠加和靈敏度等關鍵參數。該系統還可用於無損深度剖面測量、介電常數測量和臨界尺寸測量。該單元還配備了先進的軟件包，允許自動檢查晶圓和模具級缺陷。該軟件可以檢測線寬變化、粒子和碎片以及叠加誤差等缺陷。它還可以通過線緣剖面和側壁角度測量檢測橋接缺陷。總體而言，TENCOR INS 3300是為現代半導體制造而設計的先進的掩模和晶圓檢測機。其光學成像和計量系統的結合為設備檢查提供了無與倫比的精度和精確度。此外,其強大的軟件包允許自動檢測缺陷,從而確保所有基材類型的產量最高。