二手 KOBELCO / LEO EPM #293642530 待售

KOBELCO/LEO EPM是一種用於半導體制造廠的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供端到端檢驗解決方案,在生產的每個階段驗證掩模和晶片的完整性,幫助減少因缺陷造成的產量損失。該單元使用高分辨率成像、光掩模評估和自動檢查，以實現對幾何形狀和缺陷的快速準確測量。這樣可以快速識別設備到晶片的變化,從而能夠快速調整生產過程並提高產品質量。機器還可以在曝光光掩模和晶圓蝕刻過程中檢測缺陷。該工具融合了各種創新技術，如先進的激光和帶電粒子成像資產。與傳統光學顯微鏡相比，該模型提高了光掩模和晶圓檢測的精度和分辨率，提高了100倍。帶電粒子成像設備在識別和定位缺陷方面也提供了更高的精確度，使檢測更早、更具成本效益。LEO EPM還具有自動成像系統，用於創建高分辨率的光掩模和晶片圖像。該單元執行圖像處理,將圖像與存儲的數據進行比較,從而提供快速、可靠的結果。它還可以輸出各種類型的圖形數據和書面報告。總體而言，該機器的設計旨在提供一種全面有效的面膜和晶片檢驗方法，幫助減少因產品缺陷而造成的產量損失。該工具的高分辨率成像和自動化過程還確保了更快、更準確的檢查,使制造商能夠及時調整其生產過程。使用KOBELCO EPM,制造商可以降低半導體制造操作帶來的風險,並為客戶提供質量更好的產品。