二手 KOKUSAI VR-120A #9148334 待售

KOKUSAI VR-120A是一種綜合性的多傳感器掩模和晶圓檢測設備，設計用於生產先進的單層或多層掩模和晶圓圖案結構。其先進的視覺技術和先進的照明系統提供了無與倫比的分辨率和檢查覆蓋範圍。該系統包括高分辨率LED數碼相機單元、高速掃描窄紅外光束傳感器和全自動缺陷檢測機。相機工具使用CCD（電荷耦合器件）圖像傳感器，提供高達8.5 μ m像素的分辨率。它提供高達每秒200個字段的圖像捕獲。窄紅外光束傳感器提供亞微米分辨率，每秒最多可檢測500萬個圖樣。它包括一個用於可靠缺陷檢測的現場聚焦控制資產。該模型提供了一個全面的模式檢測和缺陷檢測能力。模式識別功能包括測量圖案、線寬、層厚度、表面積、步高和角度，以及CD（臨界尺寸）和發光檢查。缺陷檢測功能包括孔隙面積、抗殘留物、橋梁樣品、劃痕、汙染物、晶體缺陷、芯片蝕刻和光致抗蝕劑顯影。該設備能夠以10厘米x 10厘米的光學視野檢查整個掩模或晶片。它具有集成的舞臺龍門系統和自動化的舞臺移位裝置，能夠快速準確地檢查大型掩模和晶圓區域。該機支持手動、半自動和全自動操作，並提供近乎實時的結果。該工具設計用於惡劣生產環境中的可靠操作。它配備了功能強大的CPU模塊、易於使用的圖形用戶界面、網絡端口和可選內存擴展以及多用戶身份驗證資產，以確保安全運行。此外,可選的接縫檢查技術和掩模圖像庫還可以精確地重新查看缺陷。VR-120A面膜和晶片檢驗模型在生產環境中提供可靠、準確的檢驗結果。其全面的缺陷檢測和模式識別功能使其成為先進的掩模和晶圓生產工藝的理想選擇。