二手 KOSAKA LAB RSP300-11 #293637186 待售

KOSAKA LAB RSP300-11是一種用於檢測光刻模式形成過程缺陷和設計數據布局的掩模和晶圓檢測設備。它為各種過程提供檢查解決方案,包括FEOL（前端線）、BEOL（後端線）和WLP（晶圓級封裝）。該系統由四個主要組件組成：一個光刻投影單元、一個電源、一個攝像機和一臺計算機。光刻投影機由多束激光器和可移動的X-Y-Z級組成。它用於將光刻光柵投射到晶片上，並檢查晶片表面上形成的抗蝕層圖樣。電源為激光和舞臺控制供電。攝像機是拍攝晶圓圖像的高分辨率數碼攝像機。計算機工具用於控制和分析資產生成的數據。RSP300-11使用先進的算法來檢查和分析晶圓上形成的模式。它能夠通過目視檢查檢測到與過程有關的缺陷。它還可以檢測與光掩碼失準和線寬降壓誤差有關的模式失準造成的總缺陷。該模型可以輕松配置各種檢查選項,如淋浴文件、Chor文件、激光掃描、扇區等,以便更有針對性地檢測缺陷。設備還包括缺陷匯總、缺陷區域映射、重復故障分析和統計缺陷分析等一套自動工具功能。KOSAKA LAB RSP300-11能夠存儲以前的數據,並將其用於結果比較和與客戶規範的比較。該系統還提供了一個特征，通過控制其強度，可以消除由於圖樣的背景噪聲而產生的錯誤相對信號。綜上所述,RSP300-11是一個高性能的掩碼和晶片檢查單元,它提供高級功能來檢測模式缺陷,並以最小的用戶工作量與客戶規範進行比較。其先進的算法、多種配置選項和自動工具功能使用戶能夠快速高效地檢測與過程相關的缺陷，提高過程窗口穩定性和產品產量。