二手 LASERTEC M8351 #9386141 待售
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LASERTEC M8351 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種自動化的檢查系統,利用激光光學器件精確可靠地檢查薄至0.13mm的晶片和高達8 「x 10」或更大的Mask。它采用高清數字顯微鏡,可提供高放大倍率成像,並具有一定的聚焦深度,從而能夠對小至1微米的內聯特性進行視覺驗證。該裝置能夠進行全場或視線檢查,以檢查是否有劃痕、汙染、邊緣缺陷和其他關鍵特征缺陷。它還可以檢測晶片或掩模邊緣的汙染,從而導致較高的片狀電阻讀數,從而導致設備性能下降。這臺機器是基於一個氦硼激光光源,將一個明亮的光傳遞到晶圓或面罩。這種高度可控的激光束然後以線性方式掃過晶圓和掩模的表面。反射光隨後與來自模數轉換器(ADC)的信號同步。然後,ADC將信息發送到激光光學處理器,後者使用算法分析圖像並檢測缺陷。此工具能夠在幾秒鐘內檢測到任何類型的缺陷或汙染,是確保產品制造中最高質量標準的通用且可靠的工具。它對晶片和掩碼進行二維和三維掃描,發現的任何缺陷都可以在屏幕上看到,從而實現快速而簡單的缺陷分類。該資產最多可存儲2,000張圖像,因此非常適合長期過程控制和最大限度地減少人為錯誤。總體設計使LASERTEC M 8351成為一款健壯且易於使用的機型,能夠承受惡劣的工廠環境並降低人工成本。該設備還具有先進的自動化能力,使其能夠對每個批次進行參數不同的單次或多次通過檢查。其模塊化設計允許用戶為所有應用選擇最適合的光學、傳感器和照明源配置。速度、精度和可靠性的強大結合使M8351面膜晶片檢測系統成為各種行業應用的絕佳選擇。它確保產品質量的一致性,並有助於減少對客戶滿意度的潛在負面影響。
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