二手 LASERTEC PEGSIS P100 #9140823 待售
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ID: 9140823
Reticle inspection system, 8"
Optical bench
Electronic enclosure
Auto loader unit
Mini environment unit
SMIF System
Handler system
Chambers
(2) Chemical boxes
TCU
Operating system: Windows XP
2011 vintage.
LASERTEC PEGSIS P 100是為研發先進光刻工藝而設計的掩模和晶圓檢測系統。它提供了必要的缺陷檢測和分類功能,結合了基於旋轉器的表面掃描技術和基於圖像的方法。通過P100的分析功能,可以對每個缺陷的大小、位置和其他特征進行更精細的評估,從而對設計過程中可能出現的任何問題進行快速評估和故障排除。P100配備了先進的4路X射線掃描功能、專用的模式識別系統以及精密的設計對比算法。四向X射線掃描能夠有目的地識別地形復雜的特征和細微的深度或異常缺陷。這一掃描系統能夠準確測量和分析這些特征,為進一步定量評估掩模和晶片結構和組成的不同方面提供必要的定量數據。P100還設計了模式識別和比較系統,以自動檢測常見的掩模和晶圓缺陷。這些系統的設計旨在提供快速、高效的缺陷識別,並預測和預測晶圓和掩模結構的變化。模式識別系統還能夠執行圖像相似性分析,這有助於識別和證實可能與工程設計相關的類似缺陷。P100的基於特征的設計比較算法進一步補充了圖像相似性分析,從而能夠全面評價掩模和晶圓結構的不同方面。通過比較不同的設計,P100裝備了識別它們之間的異同,並在設計過程和任何掩模或晶圓異常之間產生相關性。因此,PEGSIS P 100旨在提供高級掩碼和晶圓檢查功能,並能夠快速檢測和分類缺陷。結合X射線掃描、模式識別和設計比較算法,P100提供了功能強大且用途廣泛的分析見解,可用於快速排除和優化任何設計過程。
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