二手 LEICA / VISTEC 3300 #9237527 待售
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LEICA/VISTEC 3300是半導體生產行業的領先、先進的掩模和晶圓檢測設備。LEICA 3300是在LEICA和VISTEC之間開發的,專門為快速、經濟高效地檢測晶圓和掩模對準步驟中的缺陷而設計,提供了前所未有的準確性和自動化水平。該系統由幾個組件組成,包括一個最先進的數碼相機、一個多軸級和一個高精度的導引臂,全部協同工作以提供晶圓或掩模表面的全覆蓋。數碼相機采用專利濾波器陣列技術,將高分辨率成像與不同波長的光結合起來,檢測甚至最小的缺陷。另外,內部開發的點檢測算法可以搜索晶圓或掩模上的缺陷,並提供不間斷的掃描以快速評估缺陷。該級采用線性軸承導軌建造,完全可編程,以便在不同視圖中自動對準晶圓或掩模。它還為精確檢查提供了難以置信的重復精度。導臂是一種先進設計的專利申請機構,提供精確的對準和處理面罩或晶片的最佳掃描條件。該臂還具有用於精確速度和運動控制的電動伺服電動機。除這些組件外,該單元還包括用於圖像處理和缺陷分析的功能強大的軟件。它包括自動對齊、3D圖像堆叠、顏色編碼、自動校準、圖案匹配以及直觀的過程控制機等幾個功能。所有功能都設計為在晶圓和掩模檢驗過程中提供最高性能。VISTEC 3300工具是任何希望在降低成本的同時提高效率和準確性的半導體生產操作的理想選擇。其先進的設計和特點確保了準確可靠的檢驗,允許提高產量和更高質量的結果。
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