二手 LEICA / VISTEC DM5500B #9161873 待售

LEICA/VISTEC DM5500B是一種高精度、綜合性的掩模和晶圓檢測設備，對集成電路組件的模式和設計進行全面分析。LEICA DM5500B精確測量各種設備,包括薄介電膜、亞微米場結構元件和光掩模。該系統覆蓋範圍廣泛，晶圓尺寸可達300毫米，放大倍數很大。它具有強大的計算機控制掃描單元，以確保質量分析數據的一致性和可靠性。機器的自動掃描功能使操作員能夠快速檢查和分析陣列幾何形狀、薄膜層的測量和缺陷、隔離特征和對齊配準參數。內置的報告功能會自動報告每次掃描,並可以電子方式共享。VISTEC DM5500B提供高級測量和缺陷分析功能,使用戶能夠定性和定量分析參數趨勢,如匹配、叠加、接觸孔形狀和線/空間幾何。對於完整的表征和數據相關性,刀具的數組和晶圓映射選項完全有信心地指示潛在缺陷的坐標。這些結果可以與其他測試數據一起立即監測和分析。另外，放置精度可以用預先表征的晶片模板觀察到，該模板可以從文件快速加載到資產中並在分段晶片上掃描。DM5500B利用其高分辨率的數字光學和衍射成像技術檢查晶片,從而提高聚焦深度和高圖像質量,同時保護曝光圖樣的完整性。該模型在偽步進器或鏡像步進器平臺中兼容地讀取和寫入OPC（光學接近校正）,從而能夠對OPC進程進行詳細的有效性檢查。設備配備了內置的提高生產力功能,如啟動篩選器和集成報告管理器。這些功能可以根據用戶的特定需求量身定制，從而可以設置系統以獲得最佳性能。啟動篩選器可用於快速掩碼質量控制和自動生成報告。可選的高級缺陷聚類功能可以進一步描述「特殊」缺陷,而自動缺陷分類工具有助於改進質量控制過程。此外,LEICA/VISTEC DM5500B支持遠程檢查/分析功能,允許經驗豐富的操作員直接訪問和運行設備,並查看許多用戶的數據和分析。這使用戶能夠快速識別任何必需的流程或新出現的趨勢,從而幫助不斷提高產量。加上強大但易於使用的軟件，LEICA DM5500B是一個強大而全面的掩模和晶圓檢測機。該工具為用戶提供了全面通過/失敗測試所需的準確性和精確度。